超声扫描显微镜CTS-SAM性能及应用

制造业的精密化、集成化与高可靠性发展趋势，对关键材料内部细微结构及缺陷的无损检测提出了的高要求。工业超声扫描显微镜凭借其非破坏性、深层穿透和优异的内部成像能力，已成为微观质量评估、缺陷检测的核心技术手段。“启航检测科技超声推出的CTS-SAM超声扫描显微镜在半导体制造、精密器件加工等领域，能够对极小缺陷进行快速、精准、大批量检测的严苛需求。

超声扫描显微镜CTS-SAM产品介绍

制造业的精密化、集成化与高可靠性发展趋势，对关键材料内部细微结构及缺陷的无损检测提出了的高要求。工业超声扫描显微镜凭借其非破坏性、深层穿透和优异的内部成像能力，已成为微观质量评估、缺陷检测的核心技术手段。“启航检测科技推出的CTS-SAM超声扫描显微镜在半导体制造、精密器件加工等领域，能够对极小缺陷进行快速、精准、大批量检测的严苛需求。

超声扫描显微镜CTS-SAM功能特点

系统组成：机架、高精度直线电机扫描平台、多自由度探头夹具、水槽、水过滤循环系统、高频脉冲发生接收仪、远端脉冲发生器、高频采集卡、电控系统、软件系统等。

激励采用自主研发的高频脉冲发生接收仪CTS-8072PR-500M，突破的垄断，实现国产化自主可控。

具有丰富的扫查规划功能，能够满足多工件规划、多扫查面规划、自动路径规划、示教路径规划、外部路径规划等。

运动控制功能包括：单轴点动模式、单轴模式、单轴相对模式、TCP控制模式、运动系统校准等。

扫查功能涵盖：幅度C扫、深度C扫、多层C扫、穿透C扫，并具有界面波跟踪功能，实现界面波补偿声程。

具有C视图导航功能，可通过点击C扫图的具体像素点，将探头移至与实际被检工件相对应的位置。

视图显示包括A扫、B扫、C扫、D扫、3D视图、FFT频谱分析等，全程记录A扫波形数据和保存全部视图。

具有全面功能强大的数据分析功能，包括：

ØX、Y、Z厚度与距离测量功能：根据手工圈选的轮廓（圆形，矩形，多边形）计算缺陷百分比；

Ø根据CAD导入的轮廓模板，计算百分比；

Ø自动圈选缺陷功能；

Ø记录缺陷列表，定位缺陷位置；

Ø焊合率计算；

Ø局部闸门和阈值功能，实现可对C扫图进行加框，修改局部闸门和阈值；

Ø提供多种调色板可选及自定义调色板导入，切换标尺单位，定义色标范围，多种图层的显示和关闭等功能。

启航检测科技（上海）有限公司-无损事业部-启航科技根据客户需求应用和需求定制，